成果名称：多模式低漂移原子力显微镜。

技术领域：高端智能装备。

成果简介：在高端智能制造的三维轮廓测量领域，三坐标测量机可实现亚微米级测量精度，但仅仅适合于亚

                毫米尺寸以上的内尺寸三维轮廓测量，而原子力显微镜（AFM）的测量范围小，现有仪器无法

                实现尺寸介于亚微米➓亚毫米量级的微观轮廓测量。针对这一测量需求，合肥工业大学仪器科学

                与光电工程学院微纳测量技术与系统团队开发了大长径比扫描探针显微镜实验样机。实验样机的

                宏动范围12mmX12mmX6mm，扫描范围500④mX500④mX250④m，探针测量分辨力1nm。

                该样机可用于MEMS器件、半导体器件等的微结构三维轮廓测量。

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