成果名称：高精度三坐标测量机。

技术领域：高端智能装备。

成果简介：在高端智能制造和先进制造领域，机械零件的加工尺寸越来越小、制造精度越来越高，而现有的

                三坐标测量机无法满足测量要求。这对这些零部件的检测需要，在国家“863”计划重点项目支

                持下，合肥工业大学仪器科学与光电工程学院微纳测量技术与系统团队开发了三维测量符合阿 

                贝测量原则的高精度三坐标测量实验样机。实验样机的三维测量范围50mmX50mmX50mm，

                测量精度100nm，最小可测量内尺寸0.2mm，测力毫牛量级。该测量机可用于精密机械零部件

             （如汽车发动机喷嘴微孔）、精密光学元件、MEMS器件等的三维轮廓精密测量。

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